截至10月17日14:52，上证科创板半导体材料设备主题指数下跌4.37%。成分股方面，神工股份领跌8.21%，华海诚科下跌7.79%，晶升股份下跌6.77%，有研硅下跌6.03%，龙图光罩下跌5.79%。科创半导体ETF（588170）下跌4.28%。
流动性方面，科创半导体ETF盘中换手29.14%，成交9.45亿元，市场交投活跃。拉长时间看，截至10月16日，科创半导体ETF近1周日均成交8.25亿元，领先同类。
规模方面，科创半导体ETF近1周规模增长4.87亿元，实现显著增长。截至2025年10月16日，科创半导体ETF规模33.51亿元，领先同类。
相关ETF：公开信息显示， 科创半导体ETF （588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418）跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，囊括科创板中半导体设备 （61%）和半导体材料（23%）细分领域的硬科技公司。 半导体设备和材料行业是重要的国产替代领域，具备国产化率较低、国产替代天花板较高属性，受益于人工智能革命下的半导体需求扩张、科技重组并购浪潮、光刻机技术进展。
半导体材料ETF （562590）及其联接基金（A类：020356、C类：020357），指数中半导体设备（61%）、半导体材料（21%）占比靠前，充分聚焦半导体上游。
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